项目介绍

干涉测量法是一种精确的非接触式3D表面轮廓分析方法，能够测量纳米级的表面变化。它已广泛用于光学组件、集成电路、MEMS设备和生物细胞的表征。传统干涉仪的光学系统需要高精度设计，制造和对准，以最小化像差，从而最大化测量分辨率。这是干涉表征系统以低成本广泛应用的主要挑战。该项目将探索将纯相位硅基液晶（LCOS）技术集成到干涉仪中，以放宽其硬件光学系统的容差，该容限由计算机生成的全息图补偿，从而降低设备成本。该项目中提出的体系结构将能够使用低成本的光学和光机械组件，而不会影响系统性能。此外，所产生的干涉图也将变得不太复杂并且可以被高速处理。

项目目标

项目将探索将纯相位硅基液晶（LCOS）技术集成到干涉仪中，减少光学系统的公差，有别于传统干涉仪严格依赖光学系统的设计，尤其是对具有大视角系统和光学部件的制造，光机械的质量和对准的精度等提出超高要求，从而降低其成本，实现其广泛应用。

产业化前景应用

项目聚焦南京市关于半导体、集成电路、人工智能、高端芯片等代表世界科技前沿和未来产业制高点的定位，这些领域对机械精度和光学加工能力要求越来越高，超光滑或者次纳米表面的加工越来越普及，这些表面的量化已经成过程控制的关键。随着科技水平的不断提高，应用市场对测量分辨率及成本提出更高要求。